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Horiba質(zhì)量流量控制器SEC-N100系列特點(diǎn)：$n1、直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量$n2、工作穩(wěn)定可靠$n3、適應(yīng)的流體介質(zhì)面寬$n4、廣泛的應(yīng)用環(huán)境$n5、多種實時在線測控功能$n6、可擴(kuò)展性好

Horiba質(zhì)量流量計 SEC-E40V SEC-E40V是國產(chǎn)化的SEC-E40, 進(jìn)口核心部件，國內(nèi)組裝 具備自動調(diào)零功能 高精度 高速響應(yīng) 配備應(yīng)對各種用途的機(jī)型

Horiba 液體質(zhì)量流量計LF-F40M-A LF-F60M-A，量程分別是5g/min、100g/min，精度1%。$nHoriba LF-F液體流量計，只測量流量，不控制流量。$n適應(yīng)于低沸點(diǎn)液體、高粘度液體。$n暢銷型號：LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO

Horiba 液體質(zhì)量流量計LF-F20M-A LF-F30M-A，量程分別是0.02g/min、0.5g/min，精度1%。 Horiba LF-F液體流量計，只測量流量，不控制流量。 適應(yīng)于低沸點(diǎn)液體、高粘度液體。 暢銷型號：LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO

Horiba 微小液體質(zhì)量流量器LV-F60MO流量計， 量程100g/min, 精度1%。適應(yīng)于低沸點(diǎn)液體、高粘度液體。 微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F控制液體流量，液體質(zhì)量流量計LF-F測量液體流量。 暢銷型號：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A

Horiba汽化器MV-2000 液體轉(zhuǎn)氣體流量計采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k”工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化?？蓪崿F(xiàn)高沸點(diǎn)液體的穩(wěn)定汽化。$n$n· 氣液混合物汽化方法確保穩(wěn)定地汽化高沸點(diǎn)液體$n$n· 氣液混合部分溫度可到MAX140℃$n$n· 蒸發(fā)區(qū)汽化溫度MAX 200℃

Horiba直接注入式汽化器VC-1420能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統(tǒng)。 在測試工藝過程中控制氣體比例和濕度平衡相當(dāng)困難，可以通過以下產(chǎn)品達(dá)到準(zhǔn)確的氣體平衡和氣體濕度：氣體 MFC（SEC-Z512MGX、N112MGX、）、液體 MFM（LF-F20M-A）、汽化器（MV-2000）。

GR312F、GR314F、GR317F、GR511F、GR-224FD$nHoriba 壓力控制器GR-312F GR-314F GR-317F是GR-300系列中的暢銷產(chǎn)品，實現(xiàn)晶圓背面氣體的壓力控制器，該氣體用于冷卻晶圓表面溫度。$n常用氣體是氦氣和氬氣。$nGR312F壓力控制器是0-5V或者RS485通訊，可以選擇GR317F，實現(xiàn)EtherCAT通訊。

晶圓背部壓力控制器Horiba GR-511F GR312F，熱門型號是GR-511F，又稱壓力自動調(diào)節(jié)閥， 用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)中晶圓背面壓力的控制器，實現(xiàn)冷卻系統(tǒng)的冷卻功能。