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Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。

Horiba自動壓力控制器R600基本特點： 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質(zhì)量流量計SEC-8000系列特點： 高精度±1.0%設(shè)定點 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計 符合RoHS標準

SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計高精度±1.0%設(shè)定點。該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標準氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)?？勺働ID根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。

horiba流量計SEC-Z700S可以直接測量管道內(nèi)流體的質(zhì)量流量，測量精度為0.2級，流體測量管內(nèi)部無障礙物和活動部件，因而可靠性高、壽命長。

Horiba SEC-Z700質(zhì)量流量計SEC-Z714MGX-CS屬于高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，是半導體中設(shè)備CVD機臺、Etch機臺中的氣體控制核心部件

Horiba質(zhì)量流量計D500系列具有壓力非敏感性，自帶顯示功能，控制范圍廣，可應(yīng)對多種氣體、多種量程、不同壓力條件，適用于高精工藝需求。